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晶圓檢測接觸角測量儀
  • 發(fā)布日期:2020-11-10      瀏覽次數(shù):863
    • 晶圓接觸角測量儀現(xiàn)有測試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應用廣泛,測值直接與準確的還是外形圖像分析方法,接觸角測量儀采用外形圖像分析(Shape image analysis)

       一·概述(Summary)

      接觸角(contact angle)是指在氣、液、固三相交點處所作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ,是潤濕程度的量度;接觸角現(xiàn)有測試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應用,測值直接與準確的還是外形圖像分析方法,接觸角測量儀采用外形圖像分析(Shape image analysis)方法測量樣品表面親疏水性、潤濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設備

       

      晶圓接觸角測量儀應用:

      1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性:包括靜態(tài)接觸角,動態(tài)接觸角(前進/后退接觸角),接觸角滯后性等;

      2、液滴在固體表面的起始滑動角(或滾動角),滑動速度;(擴張功能)

      3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為;

      4、固體表面自由能,及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻;

      5、液體在固體表面的粘結(jié)力、滯留力等;

      6、固體表面在經(jīng)過清洗、處理后的結(jié)果(效果)評估:如潔凈度,均勻性,和表面能改變幅度等;

      7、液/流-體系的表面/界面張力:包括靜、動態(tài)表/界面張力的測量;

      8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場、在線、實時監(jiān)測;

      9、表面活性物質(zhì)(如表面活性劑)臨界膠團溶度(CMC)的測量:包括全自動CMC測量,全自動有關配方的篩選和優(yōu)化;

      10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究;

      11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性:如乳狀液/泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關的界面現(xiàn)象和過程的測量和分析等。

      12、全自動檢測整體解決方案,可搭配至流水線上使用,提高檢測效率;

      二·設備原理解析(Principle analysis)

       

         

        我司設備采用CCD數(shù)字攝像機,配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng),搭配三維樣品臺,可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現(xiàn)微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺,能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié),擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測試多次后的結(jié)果可以同時保存在同一報告下,能讓用戶對材料數(shù)據(jù)進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需

        三·技術規(guī)格(Specifications)

        (一)晶圓接觸角測量儀觸角測量儀主機:

        (1)主機使用高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設計理念,自主研發(fā)的集成芯片電路控制,保證儀器以狀態(tài)運行;

        (2)成像部分使用高性能工業(yè)機芯及無失真遠心鏡頭確保的成像效果。

        (3)工業(yè)級可調(diào)LED單波長冷光源系統(tǒng),成像清晰

        (4)自動位移平臺,實現(xiàn)Y、Z自動定位測量,定點地位準確,測量效率高

        技術規(guī)格:

        主機外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高)

        主機凈重:55KG

        工作臺面尺寸:420mm*420mm

        工作臺移動:

        前后移動 自動,行程160mm,精度0.01mm

        上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm

        進樣器移動:自動上下60mm(自動); 左右30mm

        工業(yè)鏡頭移動:前后30mm(微調(diào)3mm)

        工業(yè)鏡頭:0.7X *-4.5X高清遠心連續(xù)變倍變焦顯微鏡

        CCD:SONY*高速工業(yè)級芯片;60幀/S

        鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察

        光源:LED可調(diào)節(jié)藍色基調(diào)工業(yè)級冷光源;使用壽命達貳萬伍仟小時以上

        電源及功率:220V / 60HZ

        (二)分析軟件:

         

        (1)接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法(一鍵自動擬合,不存在人工誤差)包括:

        圓法擬合(適用于低角度接觸角測量)

        橢圓/斜橢圓擬合法(適用于高角度接觸角擬合)(應用于120°以上高角度接觸角測量)

        微分橢圓法/微分圓法(應用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合)

        動態(tài)接觸角擬合包括:
        潤濕性能測試(應用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試,批量處理)

        視頻擬合(應用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試,視頻動態(tài)處理)

        動態(tài)表面/界面張力測量(測量液體整個過程的張力變化趨勢,準確的判定其真實的表面/界面張力)
        表面能量計算(使用多種表面能計算方式測量對固體表面能量進行分析)
        粘附功
        數(shù)據(jù)報告(支持WORD、Excel類型數(shù)據(jù)報告,自動生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖)
        規(guī)格:

        接觸角測量范圍:0-180°
        接觸角測量精度:±0.1°
        表界面張力測量范圍:0-2000mN/m;測量精度:0.01 mN/m

        高精度自動滴液系統(tǒng):

        軟件高精度滴液系統(tǒng);滴液精度:0.0 1μl
        一鍵式多點測量(可多次循環(huán)):自動進樣→自動接液→軟件自動完成測量→自動換下一個點位
        可針對不同樣品設置測量方案并可保存,方便下次再次測量同一類樣品時直接調(diào)取測量

           

          四·產(chǎn)品特點(Product features)

          專業(yè)級的高精度注射系統(tǒng),全電腦控制,液滴控制精度可達0.01μl
          Y軸自動位移,平臺自動旋轉(zhuǎn),可一次測量多個已設置點并給出對應測量數(shù)據(jù),實現(xiàn)全自動化測量
          工業(yè)級可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)(壽命25000H以上),清晰的成像,同時避免額外熱度所導致的小液滴揮發(fā)
          采用高性能工業(yè)機芯,無失真遠心鏡頭,確保的成像效果。
          采用USB2.0標準接口,數(shù)據(jù)傳輸速度快,兼容性高
          高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu),模塊化設計理念,可配置各種常用測量附件
          集成芯片電路控制,保證儀器以狀態(tài)運行
          多種輔助模塊選取,滿足更多的外部測試條件
          光學系統(tǒng)頂式法,適合超低角度測量和疏水材料測量
          多種接觸角分析方法,更適合多種材料接觸角測量
          能夠自動識別基準線及輪廓線,無人為誤差
          高速全自動操作測量,且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果,有圖有真相,有擬合痕跡,測流量結(jié)果是否準確一目了然
          表面接觸角分析模塊,更簡捷的操作,更準確的結(jié)果
          視頻快速測試數(shù)據(jù),可連續(xù)性進測試接觸角形態(tài)變化
          一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開攝像頭; 【測試】--準確的控制滴液-自動接液-高精度的進行全自動測量-測量完畢后自動更換測量位置直至整個原設置好的測量方案運行結(jié)束

        聯(lián)系方式
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